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去膠機(jī)在晶圓芯片行業(yè)的應(yīng)用及原理

閱讀次數(shù):[1263] 發(fā)布時(shí)間:2023-01-11

去膠機(jī)在晶圓芯片行業(yè)的應(yīng)用及原理

  去膠機(jī)是用來解除UV膠膜和切割膜膠帶之間粘結(jié)的全自動(dòng)解膠設(shè)備。許多晶圓半導(dǎo)體行業(yè)在生產(chǎn)過程中,需要先把晶圓切片用劃片膠固定起來,然后進(jìn)行劃片加工處理,最后通過UVLED光源對(duì)固定好的晶圓切片進(jìn)行照射,使晶元切片上的UV膠膜發(fā)生硬化,從而降低與切割膜膠帶之間的粘性,從而達(dá)到輕松將膠帶從晶圓切片上取下來,UVLED去膠機(jī)完美的解決了晶圓行業(yè)、玻璃制品和陶瓷切割上的解膠工序?! ?/p>

  國產(chǎn)去膠機(jī)采用箱體式結(jié)構(gòu),機(jī)器內(nèi)部配有UVLED紫外光固化設(shè)備,可根據(jù)客戶的使用需求,照射面積、定制波段大小、光照強(qiáng)度等參數(shù)。采用智能顯示屏控制系統(tǒng),可隨意調(diào)節(jié)功率大小、照射時(shí)長,使用非常方便!同時(shí)UV脫膠機(jī)箱口采用手拉式結(jié)構(gòu),方便晶圓切片的放置和取出;另配有門禁感應(yīng)裝置,拉動(dòng)箱口門把手時(shí),UVLED光源設(shè)備會(huì)自動(dòng)停止,避免紫外光源的外溢。 

  UVLED紫外光是單波段“冷光源”設(shè)備,被照射基材表面升溫小,有效解決了晶圓行業(yè)在加工處理時(shí)產(chǎn)生的熱損害現(xiàn)象。UVLED去膠機(jī)的光源設(shè)備使用壽命比較長,平均使用壽命大約在20000H左右,遠(yuǎn)超傳統(tǒng)UV汞燈的使用時(shí)長。UVLED光源是單波段紫外光,通過電能向光能的轉(zhuǎn)換,光電轉(zhuǎn)換有效率高,可有效節(jié)約電量的使用。不含“汞”污染,工作時(shí)不會(huì)產(chǎn)生臭氧,影響工作環(huán)境!


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